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电动真空泵的组成结构和工作原理

2018-07-24 14:10     点击:
       旋片式电动真空泵由偏心地装在定子腔内的转子、转子槽内的旋片和外壳定子组成。转子带动旋片旋转时,旋片借离心力紧贴定子内壁,把进排气口分割开来,并使进气腔容器周期性扩大而吸气,排气腔容积则周期性地缩小而压缩气体,借气体的压力推开排气阀排气,获得真空,如图1所示。
       摇摆活塞式电动真空泵包含两个180°角对置的工作腔。电机主轴连接一个偏心轮,偏心轮驱动转轴及活塞做往复运动,在往复运动过程中,活塞会发生偏转摇摆。活塞的往复运动引起工作腔容积的变化,产生进气和排气的效果;摇摆活塞式真空泵活塞和缸体之间有相对滑动,工作时真空泵温度会升高,活塞上活塞环与缸体之间过盈量可以通过设计进行调整,其温升比旋片式真空泵低,磨损较慢,噪音也相对较低;由于摇摆活塞式真空泵采用双腔对置结构,当一腔失效时,摇摆活塞式真空泵仍可有一定的抽取真空能力,如图2所示。

       膜片式真空泵包含两个180°角对置角的工作腔,膜片由一个曲柄连杆机构驱动,此曲柄连杆机构包括一个偏心机构,上面装有两个偏心轴承,推动作用在膜片上的连杆,使膜片受到推力和拉力的作用引起变形。膜片的变形使工作腔容积变化,产生进气和排气的效果。由于膜片与腔体之间无相对运动,摩擦较小,温升速度低,可以使真空泵有较长的寿命和较低的噪音,如图3所示。