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高真空度的几种真空泵机组

2018-09-08 08:56     点击:
       获取高真空度的几种真空泵机组
    (1)高真空泵机组。由主泵、前级泵、真空阀门、油捕集器、连接管路、复合真空计、机架及辅助设备(电控、液控)组成,用以获得真空的主要设备,广泛应用于电子、化学、冶金等工业领域。油扩散泵不能直接用于抽真空,须由机械泵等前一级泵将真空度提高到以后,才能串接油扩散泵,最终达到5/0的极限度。我所电镜高真空度就是由此类机组组合而成的。其缺点是油易失效和污染。
    (2)快速真空机组。该机组是以罗茨真空泵为主泵,以旋片泵为前级泵并配有电磁阀、管路等的真空获得设备,有结构紧凑、操作方便、抽气能力大、抽气时间短等特点,广泛应用于真空冶金、真空脱气、真空镀膜以及空间模拟、低密度风洞装置中抽除非腐蚀性气体。
       与油扩散泵机组相比,其真空度低,但在极短时间就能达到。若将机械泵、罗茨真空泵与油扩散泵进行三级组合,便能大大缩短获取高真空度的时间分钟即可达到5/0的真空度。超高真空机组。大于真空度称之为超高真空度。机组由二级前级泵加上分子泵构成。各级泵匹配的原则主要是从最高一级往前推,根据所需真空度的容积、温度、抽真空时间来确定分子泵的选型。由其排气口选定进气口,再确定前一级泵,以此类推。
       它是目前最先进的真空机组,具有获取真空度高、速度快等特点,适用于各种气体,无污染、耐腐蚀,广泛应用于一些精密仪器中,我所进口仪器等离子质谱分析仪就装有此真空装置,是未来高真空获得的最佳机组。