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真空泵的振动和噪声

2018-10-18 09:38     点击:
       近年来,随着真空技术应用领域的不断扩大,各种真空泵获得设备增长亦非常迅速。为满足真空应用发展的需要,特别是老产品不断更新,新产品不断出现,真空获得设备的发展正在进入一个新的时代。其特点是:降低真空泵的振动和噪声,提高长期运行的可靠性,处理大量可凝性和挥发性气体,降低能耗和运行成本,消除废液处理和对环境的污染;要求耐腐蚀,耐粉尘以及获得清洁、无油的真空环境等。
       根据上述要求迫使真空获得设备制造厂家不断改进老产品的特性。如滑阀泵具有抽速大、性能稳定、经久耐用等特点,但它的运动部件的惯性力和惯性力矩所产生的振动一直引起人们的注意;罗茨泵在清洁或腐蚀性工艺中的应用,在半导体、平板显示、薄膜太阳能电池以及其他工况条件非常苛刻的化工、制药等行业,大都采用罗茨真空泵与干式真空泵组成的真空机组。一方面可以减少干泵尺寸,提高机组在中真空范围的抽速,另外极限真空也能提高一个数量级。根据罗茨泵的抽气机理,从原则上来说应该是无油的,但是罗茨泵的转子必须由轴承来支撑和精密的同步齿轮来传动,这些轴承和齿轮均需要润滑系统。
       当真空系统抽除腐蚀性气体或蒸汽时,润滑油亦会受到侵蚀。螺杆真空泵由于具有清洁无油、抽速大、振动小、噪声低等优点,已成为当前大型空间模拟真空系统的首选产品。另外,为了提高真空机组的抽速和极限真空并相应的减小螺杆泵的尺寸,一般都是采用一台罗茨泵与螺杆真空泵串联构成的二级机组或二台罗茨泵与螺杆真空泵串联构成的三级机组。