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真空泵的发展趋势

2018-10-22 15:29     点击:
       真空清洁、无油一直是业界追求的理想环境,而涡旋真空泵是一种新型的无油直排介质的机械泵,它具有动力传递简单、气体流动损失小、运行平稳、结构紧凑简单、密封性能好、消耗功率小、振动噪声低、可靠性高等优点;研究认为真空泵的无油化对获得清洁、无油真空环境至关重要;介绍了涡旋泵的发展历程、工作原理、结构类型以及相关厂家产品等并对涡旋真空泵的发展趋势进行了分析。
       随着涡旋真空泵在半导体行业中应用的不断扩大,人们开始致力于干式涡旋真空泵的研究。干式涡旋真空泵与油润滑涡旋真空泵的区别在于泵腔内不含任何的油类和液体。因此解决泵内的密封和冷却问题,是干式涡旋真空泵研究的关键。研究表明了干式涡旋真空泵的可行性,还有效地解决了动静盘热力变形造成的相互接触及离心力造成的动盘振动等问题。
       虽然采用水冷方式可以有效地解决干式涡旋真空泵的冷却问题,但冷却水回路的设置使其结构更加复杂。采用风冷方式进行冷却的干式涡旋真空泵,涡盘采用双侧涡圈结构,主轴上装有两个冷却风扇,分别位于两个静盘的端部,主轴转动时带动风扇一起转动,达到对涡盘的冷却效果。同时它采用了半封闭式结构,解决了电动机的冷却问题。