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真空泵机组的性能特点

2018-10-23 12:56     点击:
       目前,高真空度越来越多地应用到一些精密分析仪器中,了解各类真空泵机组的性能特点及其形成真空度的原理,有助于帮助正确选型,合理组合,从而达到所需各种真空度要求。同时,在获取真空度的过程中,真空泵机组的操作维护特别重要,必须严格按程序操作。
       下面介绍几种真空泵及其组合。
       旋片式真空泵用于密封容器抽除气体获得真空的基本设备。该泵设有气镇装置,可抽除含有流量可凝性蒸气的气体。广泛用于试验室抽滤和分离。使用时可根据需要在进口处加装电磁压差真空阀,当泵突然停止运转或电源突然中断时,会自动封闭真空系统,并将大气放入泵腔,以免泵汕逆流污染真空系统。也可作为油扩散泵、蒸气流真空泵、罗茨真空泵等的前级泵。
       油扩散真空泵是获得高真空或超高真空的主要设备,对各种气体无选择性,结构简单,没有机械运动部件,操作方便,便于维护,广泛应用于电子、化工、冶金、机械等领域。高真空油扩散泵有泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气流导管和加热器等主要部件(见图1)。扩散泵油锅中的泵油在真空中加热到沸腾温度时产生大量的油蒸气,经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压力高于蒸气流中该气流的分压力,所以被抽气体分子不断扩散到蒸气流中被撞击,并沿蒸气流束的方向高速运动。经过几次碰撞后,气体分子被压缩到低真空端,再由下几级喷嘴喷出的蒸气流进行多级压缩,最后由前级真空泵抽走,而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到油锅中重新被加热,如此循环工作。
       罗茨真空泵也是真空获得的基本设备。它在压力下有很大抽速,转子与泵腔、转子与转子间有一定间隙,互不接触,具有振动小、容积大,可抽除可凝性蒸气,起动快、功耗小、维护费用低等特点。广泛应用于真空冶炼、真空脱气、真空镀膜以及空间模拟、低密度风洞等装置中抽除腐蚀性气体,还可以用于医药、食品、电子、化工等工业的蒸发、干燥等生产过程。罗茨真空泵是一种容积真空泵,它是利用一对“8”字形转子在泵壳中作等速反向旋转而产生吸气和排气作用,其工作原理如图2。当转子处于1和2位置时,吸气量不断增加;转到3位置时,一部分气体被右转子隔开;转到4位置时,这部分气体开始向排气口排出。左右转子周而复始地旋转,就能连续排气。