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真空泵机组的工作原理

2018-11-13 08:03     点击:
       目前各种真空泵机组的发展愈来愈受到真空应用场合的影响,一般传统的真空泵机组系统已无法满足清洁无油、耐腐蚀、抽可凝性蒸汽以及能在恶劣的工况下运行的需要,因此近几年来干式真空泵发展很快,真空获得产品出现了更新换代的局面。
       螺杆真空泵机组的工作原理:它是由一对同步齿轮带动逆向旋转的螺杆,在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间均有一定的间隙,没有任何金属与金属之间的接触。于是螺杆在旋转过程中就将被抽气体从进气口吸入并排出到排气口。
       早期的螺杆真空泵是等螺距,为了降低能耗、降低泵腔内的温度,最近又新开发了变螺距的螺杆真空泵。其中一种螺杆是由二段螺距大小不等的螺杆拼接而成,另外一种就是螺距连续变化的螺杆真空泵,螺杆由一个整体材料加工制作而成,各种不同的螺杆见图1所示。
       由于它具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点,因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。