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涡旋型无油机械真空泵

2018-11-19 15:43     点击:
       涡旋真空泵有两种形式,一种是一个涡旋固定不动,另一个涡旋围绕着它公转平动而不能自转,这是公转型;另一种是两个涡旋同步同方向各自绕自身轴转动的回转型,它的两个旋涡都是动涡旋。公转型多为双腔卧式真空泵,回转型多为单腔立式真空泵。
       这种泵压缩平稳,驱动力矩变化小,噪音低,相邻的两个月牙腔容积的压差小,间隙泄漏小,端面有密封,可得到较高的压缩比。缺点是涡旋加工困难,装配、测量、调试都有难度,造价较高。
       涡轮型泵为非容积式动量传输泵,与容积型泵相比容易实现高速、小型、大容积的要求。这种泵的结构如图10所示,泵为立式,上部为泵,下部是由高频马达组成的驱动部件。旋转轴由油润滑的球轴承支撑,泵和驱动部件之间采用特殊的非接触型轴密封结构进行完全密封。在泵的进口侧采用离心泵结构,以便提高轴速,在泵的排气口侧采用轴向流抽气单元,以提高泵的压缩比。
       常规选泵的办法是根据工艺过程需要的真空度选择泵的种类,根据放气量选择泵的抽速。而在真空电子技术领域里选择真空泵还应该考虑环境的清洁、工艺过程、反应气体的种类、反应产物的粒度等问题。以无油机械真空泵的选择为例,如果反应生成物中含有颗粒,就不应该选用表面接触类型的泵,如活塞型或旋片型泵等。